半導(dǎo)體制造設(shè)備用軸承分幾種，一是真空軸承，其型號如5MG-SEB08J1ZZ1C3/0G，二是超清潔軸承，其型號如MT2-SEB08J1ZZ1C3/0G，三是長壽命超凈軸承，其型號如MT2-5PT-SEB08J1ZZ1C3/0G，四是低顆粒潤滑脂軸承，其型號如SEB08J1ZZ1C3/L635QMP，五是真空環(huán)境用低顆粒潤滑脂軸承，其型號如SEB08J1ZZ1C3/LX23Q67。

 

真空軸承5MG中的5代表固體潤滑膜的零件代碼，5代表滾珠，若為2，代表內(nèi)圈和外圈，MG代表固體潤滑劑代碼，MG代表鍍銀軸承，除此外，還有MM（二硫化鉬涂層軸承），MN（鍍鉛軸承）；

 

長壽命超凈軸承中的MT2-5PT代表長壽命超凈軸承，若僅為MT2，代表長壽命超凈軸承，若無前綴，代表潤滑脂潤滑軸承，潤滑脂型號在軸承代號的最后面；

 

J1是保持架代號，即奧氏體不銹鋼保持架，此外還有T3（聚四氟乙烯樹脂保持架），L9（鉛銅合金保持架）；

 

/0G是潤滑脂代號，代表固體潤滑脂，除此外，還有/L635（低顆粒潤滑脂），/LX23（低顆粒氟潤滑脂）等。

 

低顆粒潤滑脂軸承最后的代號QMP或Q67代表潤滑脂填充量，QMP是NTN的標(biāo)識(shí)方法，代表潤滑脂填充量從QM-QP，即25%-32.5%，除此外，還有QD（5%-10%），QE（7.5-12.5）等等共十余種，Q67是SNR是標(biāo)識(shí)方法，代表潤滑脂填充量67%。